超精密光學(xué)元件加工及檢測
超精密光學(xué)實驗室主要致力于根據(jù)客戶需求，進行超精密透鏡、反射鏡、微透鏡陣列等光學(xué)元件的定制化加工。超精密光學(xué)加工技術(shù)團隊理論基礎(chǔ)扎實，實踐經(jīng)驗豐富，覆蓋了光學(xué)設(shè)計仿真、加工、檢測等領(lǐng)域。實驗室擁有金剛石車床、高精度面輪廓儀、干涉儀、聚焦離子束顯微鏡、光刻機、刻蝕機等超精密加工檢測設(shè)備40余臺。
單點金剛石車削：
最大加工尺寸：Φ600×250mm。
可加工材料：鋁合金、黃銅、青銅、單晶鍺、硫化鎳、硒化鋅、硫系玻璃、有機玻璃等。
可加工面形：平面、錐面、球面、非球面、自由曲面等反射式、透射式光學(xué)元件、微結(jié)構(gòu)陣列等，具體產(chǎn)品形狀可根據(jù)客戶需要制造。
加工精度：面形精度和表面粗糙度均可達(dá)到納米級。
微納光學(xué)制造：
最大制造尺寸：Φ200mm*2mm
加工材料：熔石英、單晶硅等；
加工面形：連續(xù)型大矢高微結(jié)構(gòu)陣列及位相型元件，具體產(chǎn)品形狀可根據(jù)客戶需要制造。
加工精度：表面粗糙度≤1nm；面形精度≤20nm
光學(xué)檢測：
1）光學(xué)面形檢測：
最大檢測尺寸：Φ600×150mm
檢測能力：可進行平面、球面、非球面、離軸非球面、柱面、自由曲面的非接觸式面形測量、曲率半徑測量，具備兩維及三維參數(shù)分析功能。
2）光學(xué)微觀形貌分析
分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度及顆粒度的分布、物相的結(jié)構(gòu)等。
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